用于电感等离子体源的改进的静电屏蔽件.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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用于电感等离子体源的改进的静电屏蔽件.pdf

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本公开提供了用于电感等离子体源的静电屏蔽件。在一种实施方式中，等离子体处理装置可以包括等离子体室、形成等离子体室的至少一部分的电介质壁和位于电介质壁附近的电感耦合元件。在用射频(RF)能量激励该电感耦合元件时，该电感耦合元件可以在该等离子体室中产生等离子体。该等离子处理装置可以进一步包括位于该电感耦合元件与该电介质壁之间的静电屏蔽件。该静电屏蔽件可以包括多个屏蔽板、狭缝和/或层。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112272857 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202080003225.6 (74)专利代理机构北京市铸成律师事务所