一种柔性透明电极及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种柔性透明电极及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种柔性透明电极及其制备方法，属于透明电极技术领域。该柔性透明电极是通过射频磁控溅射方法在柔性可弯曲的基底上由下至上依次层叠有AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层薄膜形成。本发明将具有良好的导电性和延展性、对可见光的低吸收性的Ag作为中间金属层嵌入AZO薄膜中，得到具有AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层复合薄膜，Ag层具有优异的导电性，使得复合电极电阻率得到显著的降低，优化了其光电学性能和机械稳定性；同时嵌入有连续Ag层的AZO薄膜在弯曲状态下的电学稳定性大大提高：即使弯曲角度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112233833 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011091277.1 (22)申请日 2020.10.13 (71)申请人山东大学地址 25