一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构.pdf

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一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构，涉及半导体和材料科学领域。静电吸盘中的电极单元被分割成若干个小电极带弧后，小电极带弧通过连接点的设置，整个静电吸盘中的电极可以分成所需的任何极数。同心圆结构的静电吸盘电极图形结构，这种结构的静电吸盘电极，一方面将划分单元小型化，有利于降低残余热应力；另一方面，避免了在单元划分过程中孤立电极产生。是一种对称性好，结构均匀、简单的静电吸盘电极。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112234015 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011087867.7 (22)申请日 2020.10.12 (71)申请人北京巨瓷科技有限公司