光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法.pdf

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本发明公开了一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。另外本发明还公开了使用该自动补给装置的自动补给方法，该自动补给方法和装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112229114 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011291724.8 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人江苏晋誉达半导体股份有限公司