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本发明公开了一种柔性薄膜太阳电池背电极及其制备方法，属于太阳能电池技术领域，其特征在于，至少包括如下步骤：S1、选取不大于100微米的不锈钢衬底，并进行清洁；S2、采用卷对卷连续镀膜工艺，在不锈钢衬底上采用射频磁控溅射的方法镀100nm～150nm的氮化铝薄膜；S3、采用直流磁控溅射的方法镀100nm～150nm的氮化钛薄膜；S4、采用直流磁控溅射的方法镀100nm的金属钛薄膜；S5、采用直流磁控溅射的方法镀50nm的钼薄膜。通过该结构背电极的使用，为制备高效铜铟镓硒和铜锌锡硫薄膜太阳电池提供良
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216750 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202011001110.1 (22)申请日 2020.09.22 (71)申请人 中国电子科技集团公司第十八研究
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