多片式衬底装舟模具、多片式衬底装载装置及方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.31万字
约 16页
2023-05-25 发布于四川
举报
版权申诉

多片式衬底装舟模具、多片式衬底装载装置及方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种多片式衬底装舟模具、多片式衬底装载装置及方法，多片式衬底装舟模具，包括：基座，基座的上端面设有环形槽，环形槽沿基座中心轴线的周向方向延伸；具有多个衬底槽的内舟的一端适于伸入环形槽，且环形槽的径向外周壁适于遮挡每个衬底槽的一部分。采用本发明，可以利用环形槽的径向外周壁配合内舟的衬底槽固定衬底，从而可以实现多片衬底装舟，使得实现一次性生长多片薄膜，进而提高了工艺效率，并保障多片薄膜的生长一致性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112251814 B (45)授权公告日 2021.12.17 (21)申请号 202010911528.X C30B 19/06 (2006.01) (22)申请日