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2023-05-25 发布于四川
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裸芯拾取方法.pdf

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本发明公开了一种裸芯拾取方法。裸芯拾取方法用于从包括第一阵列和第二阵列的晶圆拾取裸芯，在第一阵列中，具有长度和宽度的多个裸芯沿宽度方向布置，且在第二阵列中，多个裸芯平行于第一阵列布置并具有大于第一阵列的裸芯数量。所述裸芯拾取方法包括：沿从位于第一阵列的第一端的第一裸芯向位于第一阵列的第二端的第二裸芯的第一宽度方向顺序地拾取第一阵列的裸芯；检测第二阵列中与第二裸芯相邻的第三裸芯；检测位于第二阵列沿第一宽度方向的第二端的第四裸芯；以及沿与第一宽度方向相反的第二宽度方向顺序拾取第二阵列中从第四裸芯到位

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112242325 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010691181.2 (22)申请日 2020.07.17 (30)优先权数据