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本发明涉及一种大束流高密度的等离子源，包括气体放电室、阳极筒、控制线圈、阴极发生装置、氧气进气管和冷却水管路。本发明提供的一种大束流高密度的等离子源，具有高效率、高等离子密度、高等离子均匀性、低能量及大束流的优点，该等离子源形成的等离子体通量密度高，可达到高通量密度的要求，大幅度提高了膜层与基底的附着力，且节能并降低了生产成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112218419 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202011092027.X (22)申请日 2020.10.13 (71)申请人 江苏微凯机械有限公司
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