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2023-05-25 发布于四川
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基板支撑装置.pdf

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本发明的一实施例的基板支撑装置包括：支撑框架，包括第一支撑部及第二支撑部，所述第二支撑部的至少一部分与所述第一支撑部相隔；销部件，用于支撑基板的下表面，并且包括与所述第一支撑部结合的多个第一支撑销及与所述第二支撑部结合的多个第二支撑销；以及驱动模块，沿所述基板的所述下表面的法线方向选择性地使所述第一支撑部及所述第二支撑部移动。因此，本发明在不更换设备的情况下能够应用到不同种类的基板上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112242340 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 20201