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本申请涉及微滴沉积头对齐系统。一种微滴沉积头,包括用于在竖直安装模式或水平安装模式下使头相对于外部安装部件对齐的基准表面布置,在竖直安装模式中,头抵靠竖直安装板被保持,在水平安装模式中,头抵靠水平安装板被保持。基准表面布置包括设置在头上的至少七个基准表面(x1;y1、y2、y3;z1、z2、z3),其中该七个基准表面中的五个设置成用于在竖直安装模式和水平安装模式中对齐,并且其中第六基准表面(z3)设置成用于仅仅在所述水平安装模式中对齐,并且第七基准表面(y3)设置成用于仅仅在所述竖直安装模式中对
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112223918 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011104239.5 (74)专利代理机构 北京安信方达知识产权代理
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