一种碳化硅晶体取下装置.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种碳化硅晶体取下装置.pdf

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本发明提供一种碳化硅晶体取下装置，涉及碳化硅生产领域。该装置包括两个支撑盘和三个连接杆，三个连接杆位于两个支撑盘之间，三个连接杆的上下两端分别与两个支撑盘互相靠近的一面固定连接，三个连接杆的下端均安装有装夹机构，三个连接杆上端之间设置有挤压机构，挤压机构通过三个横板A与三个连接杆固定连接。该碳化硅晶体取下装置设置装夹机构、挤压机构和敲击机构，通过调节装夹机构，可以将坩埚或籽晶托架固定住，通过控制电机旋转，带动带轮旋转，两个楔形板可以重叠，楔形板逐渐挤压受力板，压盘对晶体产生缓慢且均匀的压力，可使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112226814 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011461283.1 (22)申请日 2020.12.14 (71)申请人烟台工程职业技术学院（烟台市技