一种硅锭滚磨设备.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种硅锭滚磨设备，属芯片制造技术领域，包括磨削部、驱动部、压紧部和硅锭，驱动部安装在磨削部侧部，压紧部位于磨削部上方，规定安装于磨削部和驱动部之间。磨削部包括底座、磨削棍、从动轮、平台和侧板，底座具有一对，底座上具有并排布置的两个单耳，一对底座之间安装一对磨削棍，磨削棍的转轴外端安装从动轮，与从动轮相同侧的底座外端延伸一个平台，平台内侧还具有向上安装侧板。驱动部包括电机和主动轮，电机安装在平台，电机的输出轴连接主动轮。压紧部包括支架、压紧辊、压紧柱、支撑柱、弹簧和螺母，支架具有一对，支架立于地面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112222967 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011114538.7 (22)申请日 2020.10.19 (71)申请人江西森通新材料科技有限公司