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本发明公开了一种PBN坩埚籽晶腔修复方法,涉及单晶生长技术领域。本发明的一种PBN坩埚籽晶腔修复方法,所述维修方法是采用电动打磨笔对坩埚表面进行分级打磨维修处理,对坩埚维修之前还包括清洗步骤,即将脱模后的坩埚使用混酸溶液进行清洗,再用去离子水清洗干净,自然晾干水分。本发明公开了一种PBN坩埚籽晶腔修复方法,提升了坩埚的维修效率,降低了损坏坩埚的概率,提高了坩埚的使用次数,且坩埚维修后表面更光滑、平整,进而提高了单晶的成品率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112247678 B (45)授权公告日 2022.04.22 (21)申请号 202010904396.8 C30B 11/00 (2006.01)
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