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本申请涉及包括含锰导电结构的微电子装置以及相关电子系统和方法。一种微电子装置包括:第一导电材料,所述第一导电材料包括铜;导电插塞,所述导电插塞包括钨,所述导电插塞与所述第一导电材料电连通;以及锰颗粒,所述锰颗粒沿所述第一导电材料与所述导电插塞之间的界面分散。还公开了相关电子系统和相关方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112242349 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010602960.0 (22)申请日 2020.06.29 (30)优先权数据 16/515,26
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