硅片目检辅助装置和硅片目检方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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硅片目检辅助装置和硅片目检方法.pdf

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本发明涉及一种硅片目检辅助装置和硅片目检方法，所述硅片目检辅助装置包括硅片夹持结构、反射结构和成像结构；所述成像结构包括一成像面，所述成像面具有相邻或相间隔设置的第一区域和第二区域；所述反射结构包括设置于所述硅片夹持结构的相对的两侧的第一反射单元和第二反射单元，所述第一反射单元用于将硅片的第一面成像于所述第一区域，所述第二反射单元用于将硅片的与所述第一面相背的第二面成像于所述第二区域。本发明解决硅片目检效率低且容易被污染的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112233995 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011471605.0 (22)申请日 2020.12.15 (71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司