一种MEMS器件及其形成方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种MEMS器件及其形成方法.pdf

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本发明涉及一种MEMS器件及其形成方法，所述MEMS器件包括检验质量块、设为四组并分别设置于所述检验质量块的四侧的感测梳，以及设为四组并一一对应设置于四个所述感测梳远离所述检验质量块的一侧的驱动梳，通过在检验质量块的四侧设置感测梳，并在四个所述感测梳远离所述检验质量块的一侧一一对应设置四组驱动梳，使得所述MEMS器件单个器件既能够感应旋转，也能够感应加速度，实现相关技术中至少两个MEMS传感器才能达到的等效功能，从而降低生产成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112225170 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011433127.4 (22)申请日 2020.12.09 (71)申请人杭州麦新敏微科技有限责任公司