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本发明专利公布一种大尺寸多层压电陶瓷的制备方法,包括流延膜片打孔、丝网印刷、叠层、等静压、切割、排胶、烧结、极化等工艺步骤。发明专利涉及多层压电陶瓷制作领域。本发明提供的制备方法适用于多层压电陶瓷片长度3cm,宽度3cm的制备,扩展了压电陶瓷在大驱动领域的应用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112234138 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011168250.8 (22)申请日 2020.10.28 (71)申请人 中科传感技术(青岛)研究院
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