衬底处理系统及衬底搬送方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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衬底处理系统及衬底搬送方法.pdf

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本发明涉及一种衬底处理系统及衬底搬送方法。例如ID区块、第1处理区块及第2处理区块以该顺序配置。为了将由第2处理区块处理过的衬底搬送到移载传送区块，虽然不利用第1处理区块进行处理，也必须通过第1处理区块。然而，第1处理区块及第2处理区块均连结于移载传送区块。因此，能够将衬底从第2处理区块直接搬送到移载传送区块而不经过第1处理区块。所以能够抑制产能降低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112242319 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010620424.3 (22)申请日 2020.07.01 (30)优先权数据 2019-1337