晶圆制造方法及其制成的光学生物识别模组和电子设备.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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晶圆制造方法及其制成的光学生物识别模组和电子设备.pdf

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本发明公开了一种晶圆制造方法，该方法包括光阑的制造方法，该光阑的制造方法包括以下步骤：S1：取芯片基体；S2：在芯片基体上形成对准标记；S3：在芯片基体和对准标记上覆盖一层黑色光刻胶薄膜层，该黑色光刻胶薄膜层可同时截止可见光和红外光；S4：基于对准标记进行光阑图形对准；S5：曝光显影；S6：形成带光阑图形的光阑层。本发明制作出的光阑层形成的光学模组光信噪比提升，出图更加清晰，采图效果更好，提升指纹模组识别正确率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112232277 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011215570.4 (22)申请日 2020.11.04 (71)申请人上海菲戈恩微电子科技有限公司