具有有害气体处理器的配管装置、其设计方法及包括其的有害气体处理设备.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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具有有害气体处理器的配管装置、其设计方法及包括其的有害气体处理设备.pdf

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本发明提供一种配管装置，是从工程腔室通过真空泵排出的排出气体流动的配管装置，其中，包括：排气管，其提供从所述真空泵排出的所述排出气体流动的通道；以及有害气体处理器，其设置成位于所述真空泵的后端与所述排气管的前端之间或位于所述排气管上，处理所述排出气体中含有的有害气体，所述有害气体处理器为了防止所述排出气体中含有的成分中可升华成分升华堆积在所述排气管的内部而具有提高所述排出气体的温度的加热单元，所述加热单元在所述排气管上位于包括发生所述可升华成分的升华条件的升华条件发生地点与所述升华条件发生地点的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112262462 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 201980038769.3 金昊植　朱原弘　 (22)申请日 2019.04