一种重新布线层及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种重新布线层及其制备方法.pdf

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本发明提供一种重新布线层及其制备方法，所述重新布线层包括：金属种子层；金属线层，位于所述金属种子层的上表面；塑封层，覆盖所述金属线层以及金属种子层的上表面和侧壁；其中，所述金属种子层为单一材料。采用单一材料制备的金属种子层代替传统的Ti/Cu种子层，以减少湿法刻蚀工艺造成的侧蚀，从而防止因金属线层与基板之间的连接面减少而引起的重新布线层的剥离，减少刻蚀工艺并提高细间距的重新布线层的良率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112259465 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 20191