一种三光栅拼接系统.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.76千字
约 9页
2023-05-25 发布于四川
举报
版权申诉

一种三光栅拼接系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种三光栅拼接系统，三光栅拼接系统包括：干涉仪波前测量系统、光栅拼接机构，干涉仪波前测量系统包括激光干涉仪、二维角度调整机构，二维角度调整机构设置于激光干涉仪的斜下面，光栅拼接机构包括气浮隔振平台、支撑及水平粗调机构、平行支架、底板和光栅位置调整及定位机构，气浮隔振平台设置于激光干涉仪的正下方，支撑及水平粗调机构设置在气浮隔振平台上，并位于激光干涉仪的四周，支撑及水平粗调机构的四个定位支架位于同一水平面上，平行支架设置在支撑及水平粗调机构上，底板设置在平行支架上，光栅位置调整及定位机构设置在底板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112229513 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011051435.0 G01M 11/02 (2006.01) (22)申请日 2