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本发明涉及光学系统技术领域，尤其涉及一种深紫外斜入射高分辨率暗场照明光学系统，包括光源、扩束镜、波片、光束偏转器、中继镜、物镜和工作台，光源负责提供照明光源，光源可以选择激光或者气体放电灯，该光源的辐射波长为0.19~0.28微米范围内，可以包含单色光或者复色光，其辐射方式可以使用脉冲辐射或者连续辐射，扩束镜负责将光束扩束到一定尺寸。本发明能够满足纳米级的散射光暗场检测精度对照明光学系统的需求，而且使用了0.19~0.28微米波长的光源，聚焦光斑小于0.68微米，在光轴方向上的工作距离超过了50
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162395 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202011162660.1 (22)申请日 2020.10.27 (71)申请人 江苏三米科思半导体设备有限公司
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