一种高温压力传感器芯片及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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一种高温压力传感器芯片及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种高温压力传感器芯片及其制备方法，高温压力传感器芯片包括顶层硅结构和底层SOI结构；底层SOI结构由上至下依次分布的信号处理层硅、绝缘层氧化硅和感压层硅，顶层硅结构上设置有信号引出孔和位于下表面的压力腔，感压层硅的下表面设置有引压腔；信号处理层硅包括四个惠斯通电桥桥臂电阻R1、R2、R3、R4、四个惠斯通电桥电极E1、E2、E3、E4以及隔离键合层，信号处理层硅用于将压力信号转换为电信号。本发明提供的压力传感器基于SOI基底制成，使用氧化硅代替PN结作为其绝缘层，其最高使用温度达到5

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112174085 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011099028.7 (22)申请日 2020.10.14 (71)申请人广州市智芯禾科技有限责任公司