基于掩膜电场约束电化学沉积-电解组合加工方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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基于掩膜电场约束电化学沉积-电解组合加工方法.pdf

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本发明提供了基于掩膜电场约束电化学沉积‑电解组合加工方法，所述方法包括在工件表面的膜上制作与掩膜板的结构相对应的阵列孔；将夹具外接电源使工具电极作为阳极，将传动滚轮外接电源使工件作为阴极，进行微结构电化学沉积；当电源沉积工作时间结束后，将夹具外接电源使工具电极作为阴极，将传动滚轮外接电源使工件作为阳极进行电解光整，去除工件表面沉积的冗余金属；当电源电解工作时间结束后，取出工件，将工件置于无水乙醇中，利用超声清洗工件表面的膜。本发明将电化学沉积和电解光整组合在一起进行加工，将电化学沉积后表面冗余金

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112170994 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011030601.9 (22)申请日 2020.09.27 (71)申请人南京工业大学地址