基于酚醛清漆/DNQ的化学增幅型光致抗蚀剂.pdfVIP

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2023-05-23 发布于四川
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基于酚醛清漆/DNQ的化学增幅型光致抗蚀剂.pdf

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本发明涉及抗蚀剂组合物，其包含聚合物组分、光致产酸剂组分(PAG)、光活性邻叠氮萘醌组分(PAC)、碱组分、溶剂组分和任选的杂环硫醇组分。所述聚合物组分是酚醛清漆衍生物，其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，和包含用酸可裂解的缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元。所述缩醛部分选自单官能烷基缩醛部分，其保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；缩醛，其包含用PAC部分官能化的部分，用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；包含二官能缩醛的部分，其连接和保护两个含有酚醛清漆酚羟基部分的重复单

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112166378 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 201980034950.7 (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所

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