一种嵌入梯度化孔洞多孔毛细散热结构及制造方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种嵌入梯度化孔洞多孔毛细散热结构及制造方法.pdf

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本发明涉及散热技术领域，具体公开了一种嵌入梯度化孔洞多孔毛细散热结构及制造方法，设置在基板上，其结构包括设置在基板上且设置有多孔毛细结构的梯度化孔洞毛细结构一；所述梯度化孔洞毛细结构一包括依次层叠设置在基板上的过渡层一、散热表层一；所述过渡层一、散热表层一孔径、孔隙率呈梯度变化，其中孔径由过渡层一向散热表层一递减，孔隙率由过渡层一向散热表层一递增；所述基板、过渡层一、散热表层一的致密度参数呈梯度变化且越来越小，其中基板为全致密度参数。本发明能够实现与基板可靠连接抗冲击、导热蒸发效率提升、提供较低

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114916198 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210495835.3 (22)申请日 2022.05.09 (71)申请人中国电子科技集团公司第十研究所地址