减小MEMS谐振器件误差影响的弹簧设计结构及方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于四川
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减小MEMS谐振器件误差影响的弹簧设计结构及方法.pdf

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减小MEMS谐振器件误差影响的弹簧设计结构，包括端点，刚体，刚性连接模块，柔性梁，固定点；其中：刚体上端为端点结构，平行于位移方向的柔性梁之间设置有刚性连接模块，固定点，刚体下方设置有固定点。一种减小MEMS谐振器件误差影响的弹簧设计结构的方法，MEMS柔性的结构，安排多个以交互方式偏转的柔性梁，柔性梁能实现针对蚀刻误差的自补偿效应；柔性梁以反对称方式偏转，柔性梁的任何平面都是自补偿。本发明的优点：能实现MEMS柔性结构的特定设计，以获得对蚀刻误差不敏感的器件，实现一种针对蚀刻误差的自补偿效应。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114922928 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210467643.1 (22)申请日 2022.04.29 (71)申请人罕王微电子（辽宁）