用于外腔窄线宽激光器的微环反射结构及制备方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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用于外腔窄线宽激光器的微环反射结构及制备方法.pdf

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本发明公开了一种用于外腔窄线宽激光器的微环反射结构，包括：微环波导，微环波导包括环形本体，环形本体上一体成型地设置有反射部；以及直波导，设置在微环波导的外部，以使在直波导内传输的输入激光中具有预定波长的预定激光在直波导与微环波导最接近的部位耦合进入微环波导并传输到反射部，预定激光的一部分从反射部透射成为透射激光，另一部分从反射部反射成为反射激光，透射激光在微环波导中继续沿原方向传播、耦合回到直波导，并沿与输入激光输入直波导的方向相同的方向从直波导中输出；反射激光在微环波导中被反射沿反方向传播、耦

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883913 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210638130.2 (22)申请日 2022.06.07 (71)申请人中国科学院半导体研究所地址 10