T_CI 003-2023 橡胶表面碳薄膜制备及评价方法.docxVIP

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2023-05-20 发布于河北
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T/CI?003—2023 目次前言? .................................................................................? II 1 范围? ...............................................................................? 1 2 规范性引用文件? .....................................................................? 1 3 术语和定义? .........................................................................? 1 4 薄膜分类及标识? .....................................................................? 1 5 碳薄膜技术要求? .....................................................................? 2 6 碳薄膜制备? .........................................................................? 2 7 供货方向薄膜生产方提供的资料? .......................................................? 2 8 工件镀膜前处理技术要求? .............................................................? 3 9 碳薄膜试验方法? .....................................................................? 3 10 试验报告? ..........................................................................? 5 11 包装检验? ..........................................................................? 6 12 交货准备? ..........................................................................? 6 附录? A （资料性）镀膜工艺示例? .........................................................? 7 附录? B （资料性）镀膜前清洗示例? .......................................................? 8 附录? C （资料性）柔性基体断面构筑示例? .................................................? 9 附录? D （资料性）划痕法示例 ..........................................................? 10 参考文献? .............................................................................? 11 I 中文名英文全称英文缩写说明碳薄膜 Carbon?Films CF 所有碳基非晶薄膜的统称非晶碳薄膜 Amorphous?Carbon?Films a-C?Films 特指硬度低于40GPa的不含氢碳薄膜金属掺杂非晶碳薄膜 Metal?doped?Amorphous?Carbon Films a-C:Me?Films 特指硬度低于40GPa的金属掺杂不含氢碳薄膜非金属掺杂非晶碳薄膜 X?doped?Amorphous?Carbon?Films a-C:X?Films 特指硬度低于40GPa的非金属掺杂不含氢碳薄膜非晶含氢碳薄膜 Amorphous?hydrogenated?Carbon Films a-C:H?Films 特指硬度低于40GPa的含氢碳薄膜金属掺杂含氢非晶碳