针对气体放电激光器室的底切电极.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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针对气体放电激光器室的底切电极.pdf

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提供了一种光源设备以及一种在光源设备的放电室中使用的电极设计。放电室被配置为保持气体放电介质，气体放电介质被配置为输出光束。光源设备包括相对电极对，被配置为将气体介质激发形成放电等离子体。相对电极对中的至少一个电极可以在电极的每个端部处或者在其他合适的位置处包括凹入部分或中空部分。所公开的电极结构改进了电极的腐蚀轮廓的均匀性，因为局部放电粒子通量在凹入部分处减小，通过利用电极几何形状的优化设计来重新分布通过电极的放电粒子通量，从而显著地延长了放电室的寿命。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902505 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080091288.1 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所