多规格晶圆盒转换装置.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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多规格晶圆盒转换装置.pdf

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本发明公开了一种多规格晶圆盒转换装置，设置在装载平台上，装载平台上设有用以感应晶圆盒是否装载到位的感应机构。转换装置包括放置在装载平台上的底板，底板远离装载平台的一侧设有晶圆盒定位机构，底板朝向装载平台的一侧设有感应触发机构；当晶圆盒放置到底板上时，感应触发机构能在晶圆盒的自重作用下触发感应机构。本发明的转换装置实现了兼容多规格晶圆盒装载需求的目的，提高了设备利用率，降低生产成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883236 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210631169.1 (22)申请日 2022.06.06 (71)申请人上海果纳半导体技术