一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置.pdf

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本发明提供一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置，方法包括：根据预设的亚表面标准缺陷参数创建虚拟透明样品；利用仿真激光作用于虚拟透明样品的亚表面，获得虚拟透明样品亚表面标准缺陷对应的近场光场分布数据；根据近场光场分布数据确定对应的目标远场光强分布数据；根据目标远场光强分布数据及对应的亚表面标准缺陷参数创建透明样品亚表面标准缺陷数据库；如此，可根据所需要的标准缺陷参数创建对应的虚拟透明样品，相比于现有技术中标准样品的制作，样品制作效率较高；并且本申请是利用仿真数据确定最终的目标远场光强分

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114880511 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210444957.X (22)申请日 2022.04.26 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 10