一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法，包括工作台、抛光机构、密封定位机构、吸尘机构；工作台的上侧设有上板，工作台与上板之间连接有多个连接柱，工作台上安装有抛光板；抛光机构安装在上板的下底面，用于抛光晶圆片；密封定位机构设于抛光机构的外侧，用于定位且密封晶圆片，避免晶圆片抛光时产生的飞尘外溢，密封定位机构包括密封罩。本发明通过相应机构的设置，可以定位晶圆片，避免工作人员手动定位，进而可以保证工作人员的安全性，另外，可以对晶圆片抛光过程中的飞尘进行收集处理，避免飞尘的漂浮，进而大幅

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114871932 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210665066.7 B24B 55/04 (2006.01)