一种微LED芯片转移方法、装置和系统.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种微LED芯片转移方法、装置和系统.pdf

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本发明申请涉及一种微LED芯片转移方法、装置和系统，微LED芯片转移方法包括：设定基板上芯片间距；根据设定好的芯片间距将晶片切割成若干相同大小的芯片，其中芯片宽度或长度为芯片间距的整数倍；调节转移头之间的间距后拾取芯片；通过转移头将切割后的芯片转移至基板上。所述调节转移头之间的间距后拾取芯片的步骤还包括：将若干所述转移头之间的距离调至基板上芯片间距的距离；根据基板上芯片间距，在晶片上直接或间隔若干单位芯片拾取芯片。本发明申请改进了芯片转移方法和转移装置，有效降低了微LED芯片转移器件工序的复杂程

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883356 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202110160434.8 (22)申请日 2021.02.05 (71)申请人深圳市奥拓电子股份有限公司地址