一种双向步进式压电驱动器.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种双向步进式压电驱动器.pdf

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本申请公开了一种双向步进式压电驱动器，包括：驱动组件、运动组件、预紧组件和支撑组件，驱动组件包括两组压电单元，每组压电单元包括三个压电陶瓷腿，每个压电陶瓷腿包括一个纵向伸缩压电叠堆和一个横向剪切压电叠堆，每组压电单元的三个压电陶瓷腿在平面内呈正三角形分布，六个压电陶瓷腿在平面内呈正六边形分布，该分布方式可以提高运动组件移动的平稳性，而且结构紧凑，两组压电单元的横向剪切压电叠堆的横向剪切变形方向在平面内正交。驱动器在运动时，一组压电单元产生钳位运动，另一组压电单元产生步进运动，两组压电单元在电压时

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114865947 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210682709.9 (22)申请日 2022.06.16 (71)申请人长春国科精密光学技术有限公司地址