基于竖式激光干涉仪的棱镜综合面形误差快速精准检测系统及方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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基于竖式激光干涉仪的棱镜综合面形误差快速精准检测系统及方法.pdf

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本发明公开了一种基于竖式激光干涉仪的棱镜综合面形误差快速精准检测系统，包括：激光干涉仪；水平角度补偿器；反射镜装置；平行度校准器；检测终端；该检测系统从整体构造设计上能兼备卧式干涉仪的测试功能，并且该发明的观测系统能达到卧式干涉仪综合面形的测试精度，对于一线检测人员来说，其整体构造简单、操作方便快捷。该检测系统通过控制水平角度补偿器和水平度校准器来实现产品被测面与干涉仪镜头的高度平行，另外通过斜面补偿器控制反射镜，从多种角度进行系统改进，实现棱镜综合面形的快速、精准检测。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114877823 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210370982.8 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人丹阳丹耀光学股份有限公司地址 2