硅实习报告完整版.doc

PAGE 2 目录 TOC \o 1-3 \h \u 1227 一、 实习目的和意义 1 11608 1.1 公司简介： 1 28014 二、 实习内容与要求 2 17317 2.1硅的物理化学性质； 4 29319 2.2 气体的净化 5 12925 2.2.1 氢气净化流程 5 10552 2.2.2 氩气、氮气的净化 6 3045 2.3 三氯氢硅原料的制备 6 3888 2.3.1 氯化氢的性质及合成原理 8 17289 2.3.2 三氯氢硅制备原理 9 27458 23.3 三氯氢硅合成工艺流程及设备 10 26489 2.3.4 三氯氢硅合成的技术条件 10 5023 2.4 四氯化硅处理方法 12 20185 2.6提纯工序运行参数 13 31499 系统正常运行控制 13 28196 2.7 气体中微量O2的分析 16 15359 2.8 气相色谱法测定H2、Ar中的CO2 18 29289 2.9 气相色谱法测定SiHCl3的组份 22 28392 三、 实习结果 26 23336 四、 实习体会 27 实习目的和意义 来到实习工厂后，工厂的师傅首先就化工厂的安全问题和生产流程的相关理论做了整体而细致地介绍，让我们对安全问题的认识提升到了一个新的高度，整个生产流程的大体情况也了然在胸。 此次实习的目的主要从以下几个方面进行了考察： 多晶硅生产的单元过程和工艺流程 多晶硅的提纯工艺 主要生产设备的基本结构及仪表的自动化控制 工厂的设备和生产布局 每个生产工段的基本原理 工厂的公用工程和能量利用情况 实验室的工作（试样的检测、取样等） 在此过程中，遇到了许多了问题，得到工人师傅的详细解答和指导老师的亲切指导，在此对他们表示诚挚的感谢！ 意义：通过这次的进厂实习，真实体会到了理论知识与现实的应用的差距！让我明白了理论的基础，不能照本宣科的应用的实际的工作中。 1.1 公司简介： 实习内容与要求 多晶硅产品分类:多晶硅按纯度分类可以分为冶金级（工业硅）、太阳能级、电子级。　　 冶金级硅（MG）：是硅的氧化物在电弧炉中被碳还原而成。一般含Si为90 - 95％以上，高达99.8％以上。　　 太阳级硅（SG）：纯度介于冶金级硅与电子级硅之间，至今未有明确界定。一般认为含Si在99.99％–99.9999％（4～6个9）。　　 电子级硅（EG）：一般要求含Si 99.9999 ％以上，超高纯达到99.9999999％～99.999999999％（9～11个9）。 目前生产多晶硅的流程大致分为以下几种方法： 西门子法:改良西门子法的生产流程是利用氯气和氢气合成HCl（或外购HCl），HCl和工业硅粉在一定的温度下合成SiHCl3，然后对SiHCl3进行分离精馏提纯，提纯后的SiHCl3在氢还原炉内进行化学气相沉积反应得到高纯多晶硅。改良西门子法包括五个主要环节：即SiHCl3合成、SiHCl3精馏提纯、SiHCl3的氢还原、尾气的回收和SiCl4的氢化分离。改良西门子法是目前生产多晶硅最为成熟、投资风险最小、最容易扩建的工艺，国内外现有的多晶硅厂大多采用此法生产太阳能级与电子级多晶硅。改良西门子法生产多晶硅属高能耗的产业，其中电力成本约占总成本的70%左右。 硅烷热分解法:1956年，英国标准电讯实验所成功研发出了硅烷（SiH4 ）热分解制备多晶硅的方法，即通常所说的硅烷法。1959年，日本的石冢研究所也同样成功地开发出了该方法。后来，美国联合碳化物公司采用歧化法制备SiH4，并综合上述工艺且加以改进，便诞生了生产多晶硅的新硅烷法。硅烷法与改良西门子法接近，只是中间产品不同，改良西门子法的中间产品是SiHCl3，而硅烷法的中间产品是SiH4。SiH4是以SiCl4氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法来制取，然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉中生产纯度较高的棒状多晶硅。日本小松公司曾采用过此技术，但由于发生过严重的爆炸事故，后来就没有继续推广了。 流化床法流化床法：美国联合碳化合物公司早年研发的多晶硅制备工艺技术。流化床法流化床法是美国联合碳化合物公司早年研发的多晶硅制备工艺技术。该方法是以SiCl4、H2、HCl和工业硅为原料，在高温高压流化床内（沸腾床）生成SiHCl3，将SiHCl3再进一步歧化加氢反应生成SiH2Cl2，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应生成粒状多晶硅产品。由于在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，故该方法生产效率高、电耗低、成本低。该方法的缺点是安全性较差，危