一种三维条形元胞结构、制备方法及其器件.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种三维条形元胞结构、制备方法及其器件.pdf

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本发明公开了一种三维条形元胞结构，包括：第一导电类型外延区，位于第一导电类型外延区内的第二导电类型阱区，位于第二导电类型阱区内的回形第一导电类型源区，以及位于回形第一导电类型源区内的第二导电类型体区；其中，沿水平方向，第一导电类型外延区、第二导电类型阱区、回形第一导电类型源区以及第二导电类型体区上均设有高度和宽度相同的若干凸起或者凹槽，以在条形元胞结构上形成若干一字型台面结构或者若干一字型凹槽结构。该结构使得器件除了拥有平行于元胞表面的平行沟道外，还拥有垂直于元胞表面的垂直沟道，从而提升了沟道密

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883384 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210325718.2 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人西安电子科技大学