真空泵以及定子柱.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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提供一种能够缓和产生于排气路径的压力差而尽可能令清扫气体均一地流动的真空泵以及定子柱。设置两处从定子柱20的外周面朝向旋转翼的内周的分隔壁（X，Y），设置圆周方向的槽状的流路。通过令该流路的截面积在圆周方向变化，令在流路内流动的气体的压力变化。其结果，能够令下游侧的分隔壁的前后的压力差与场所无关而为均等，因此能够令通过下游侧的分隔壁与旋转翼的内周面之间的间隙的气体的流量与场所无关而为均等。令截面积变化的方法存在令槽状的流路的深度改变的方法（第一实施方式）和另两处的分隔壁的间隔改变的方法（第二实施

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114901949 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202180008467.9 (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公