一种双面钝化接触太阳能电池及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种双面钝化接触太阳能电池及其制作方法.pdf

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提供了一种双面钝化接触太阳能电池及其制作方法，其包括：对N型硅片衬底的正面进行第一次硼扩散处理，以形成发射结层；在发射结层上依序形成层叠的第一隧穿氧化层和第一本征多晶硅层；对第一本征多晶硅层进行第二次硼扩散处理，以形成硼掺杂多晶硅层；在N型硅片衬底的背面依序形成层叠的第二隧穿氧化层和磷掺杂多晶硅层；在硼掺杂多晶硅层上依序形成层叠的钝化层和第一减反射层，且在所述磷掺杂多晶硅层上形成第二减反射层；形成正面电极和背面电极。所述制作方法可使硼掺杂多晶硅层与金属电极接触的接触电阻率被有效降低，从而有效改善

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883421 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210393399.9 (74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有