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2023-05-19 发布于北京
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根据基准波形(112)以及表示从背散射电子图像中提取出的沿第一方向的来自图案的背散射电子信号强度的BSE信号波形(211)，生成表示取得相同的背散射电子信号强度的BSE信号波形的坐标与基准波形的坐标的差值与背散射电子信号强度之间的关系的差值波形，并基于差值波形来判定在图案的侧壁有无一次电子束未照射到的遮挡区域(203)。在此，基准波形表示在基准图案上扫描了一次电子束时的沿第一方向的来自基准图案的背散射电子信号强度，其中，基准图案是相对于图案的表面以及底面垂直地形成了侧壁的图案。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902390 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080091062.1 (51)Int.Cl.