氮化镓器件及具有其的开关电源产品.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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氮化镓器件及具有其的开关电源产品.pdf

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本发明提出了一种氮化镓器件及具有其的开关电源产品，该氮化镓器件包括：衬底；设置在所述衬底一侧的过渡层；设置于所述过渡层远离所述衬底一侧的缓冲层；设置于所述缓冲层远离所述过渡层一侧的沟道层；设置于所述沟道层远离所述缓冲层一侧的势垒层；设置于所述势垒层远离所述沟道层一侧的第一钝化层；设置于所述第一钝化层远离所述势垒层一侧的单层薄膜场板；设置于所述单层薄膜场板远离所述第一钝化层一侧的第二钝化层。由此，在第一钝化层和第二钝化层之间设置有单层薄膜场板，可以更好的调整电场分布，避免电场集中在栅极边缘或者金属

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883398 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210295108.2 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人深圳智芯微电子科技有限公司地址