一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法.pdf

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一种平板显示器用钼合金溅射靶材的洗烘装置及洗烘方法，利用旋转的螺旋叶片及拨片将靶材卷入料筒内腔，依次经过去污区、洗涤区和烘干区；移动过程中，由转动的螺旋叶片联动靶材周向转动和水平移动，与螺旋叶片的表面及料筒的底壁摩擦，于去污区内加强清洁、去污的效果，于清洗区2内加强清洗效果，于烘干区内进一步去除水渍被烘干后遗留的水渍。本发明的洗烘装置及洗烘方法，其结构简单，体积小，使用方便，节能节水，洗烘效果好，具有很强的实用性和广泛的适用性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114887967 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210490991.0 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人江苏迪丞光电材料有