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本发明公开的一种制备纳米钼粉的高频感应等离子体装置,包括有依次连接的进料器、反应器、收集器、冷却器及压缩机;进料器下方设置有收集器底座,还包括有高频电源及进料器支架,进料器支架用于固定进料器及高频电源;高频电源与反应器通过导线连接。相比已有的装置功率更小,能效更高,有着充足的收集空间并且可以便捷快速的卸出纳米钼粉。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113634759 A (43)申请公布日 2021.11.12 (21)申请号 202110846421.6 (22)申请日 2021.07.26 (71)申请人 西安理工大学 地址
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