一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺.pdf

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本发明公开了一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺，涉及传感器技术领域，包括硅基板、硅栅极、硅悬臂梁、金属铝电极、压电传感器、气体分子与聚合物结构，所述硅基板的表面设置有硅栅极与硅悬臂梁，所述硅栅极与硅悬臂梁耦合，所述硅悬臂梁的末端设置有压电传感器，所述压电传感器的两侧分别设置有金属铝电极，该基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺，通过利用在谐振式传感器的硅栅极内嵌入式薄膜，通过薄膜吸收气体后产生内应力来影响悬臂梁的共振频率，提高了气体检测灵敏度和线性度，通过更换嵌入的薄膜材料，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114755135 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210398690.5 C23C 16/40 (2006.01)