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本发明提供一种半导体设备用数据寻址方法、装置及介质。其中，所述半导体设备包括至少一个腔体，所述腔体包括至少一个元器件，所述元器件包括至少一个属性；所述数据寻址方法包括步骤：S1、生成各元器件与其各属性之间的互斥的第一相对路径；S2、生成各腔体与其各元器件之间的互斥的第二相对路径；S3、生成半导体设备与其各腔体之间的互斥的第三相对路径；S4、基于第一、第二、第三相对路径，生成各属性的绝对路径。本发明能够解决现有技术中半导体设备多次调用数据时需重复确认数据所属的腔体类别和元器件类别，进而易导致调用失
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116010294 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202310031634.2 (22)申请日 2023.01.10 (71)申请人 江苏天芯微半导体设备有限公司 地址
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