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本发明提供一种基于电子束曝光的高性能高频声表面波器件的制备方法，在绝缘复合基底上进行表面增粘处理，可防止胶型结构移动或脱落，同时还可提升匀胶均匀性；选用双层胶体系，通过调控曝光剂量实现倒梯形结构制备，既有利于去胶剥离，提高剥离成品率，又可减少因薄膜断裂形成的胶体残留；在双层胶结构的表面形成导电层，可有效疏导电子束在曝光过程中的电荷积聚，避免形成微电场造成电子束定位误差和表面火花放电，保障设计图形的转移工艺能够有效的传递到胶体上；在显影及剥离过程中只需对双层胶进行显影及单次去胶，具有较高的生产效率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114759894 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202210507255.1
(22)申请日 2022.05.10
(71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术
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