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公开了声波谐振器器件和滤波器。声波谐振器包括衬底和具有平行正面和背面的压电板,背面附接到衬底。一解耦介电层,位于压电板的正面。一叉指换能器(IDT),在解耦介电层上形成,使得IDT的交错的指状物位于压电板的一部分之上,该压电板的部分悬置在形成于衬底中的空腔上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114765454 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202210028712.9
(22)申请日 2022.01.11
(30)优先权数据
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