一种在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法.pdf

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本发明涉及一种在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，在光波导板上制作出具有一定深度的凹槽，保持凹槽的底面和侧面光滑；再采用热风回流工艺，控制热风回流的温度和时间，对凹槽的侧面进行处理，使凹槽侧面逐渐趋于平整，从而增加凹槽侧面的光滑度，降低其粗糙度；最后在显微镜或者CCD的观测下放置调整准备好的斜面镜，使反射的光束角度符合设计要求；或者，采用在线检测光功率的办法确保斜面镜的放置位置最优，最后采用粘接剂固定斜面镜。本发明在光波导板上外置斜面结构用来实现光束转向，可以根据光束转向的位置设计开槽深

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114755754 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210452879.8 (22)申请日 2022.04.27 (71)申请人中航光电科技股份有限公司地址 4